리니어 모터，리니어 모터，선형 전기 모터，선형 유도 모터-bozhidacn.com
겹쳐진 공기 함유 단계 및 원리
중첩 된 공기 베어링 스테이지는 가스를 매체로 사용하는 서스펜션 시스템입니다., 가스 흐름에 의해 생성 된 리프트 사용하여 물체를지지하고 일시 중단, 비접촉식 서스펜션 효과 달성.
원리는 압축 공기 또는 질소를 평면 인터페이스에 주입하는 것과 관련이 있습니다.. 가스의 흐름과 공기 필름의 형성은 매달린 물체를지지하는 리프트를 만듭니다., 가스 서스펜션 층을 형성합니다. 이것은 물체의 중단을 가능하게합니다, 정확한 정렬 및 위치를 용이하게합니다.
중첩 된 공기 함유 단계의 특성 및 장점
1.공기 탄성 전위 에너지를 지원 안내서로 사용합니다, 가이드 레일과 슬라이딩 테이블 사이의 마찰 0.
2.탁월한 동적 성능과 포지셔닝 정확도를 제공합니다.
3.에어 베어링 플랫폼을위한 양수 및 음압 설계 기능.
4.에어 베어링 가이드에 중력 분포가 고르지 않은 대량 부하가있는 응용 분야, 가이드에서 일반 공기 갭의 더 나은 유지 보수를 보장합니다..
기술적인 매개변수
| 기술적인 매개변수 | ||
| 뇌졸중 | 300mm*300mm | |
| 위치 정확도 | ± 0.3 μm | |
| 양방향 반복성 | ± 0.2 μm | |
| 정점 | ± 3 아크 Sec | |
| 편주 | ± 3 아크 Sec | |
| 연타 | ± 3 아크 Sec | |
| 스트레이트 니스 | ± 1 μm | |
| 평탄 | ± 1 μm | |
| 해결 | 1nm | |
| 최대 가속도 | 2 g | |
| 최대 속도 | 1000 mm/s | |
| 최대 수평 부하 | 60 kg | |
| 최대 방사형 하중 | 30 kg | |
| 지속적인 추력 | 상단 축 | 78 N |
| 낮은 축 | 156 N | |
| 피크 추력 | 상단 축 | 432 N |
| 낮은 축 | 864 N | |
| 면적 안정성 | ± 10 nm | |
| 작동 공기 압력 | 5.5 술집(추천: 건조한 공기, 물 및 오일 여과, 먼지는 0.5μm 미만으로 여과되었습니다) | |
| 플레이트 폼 질량 | 75kg | |
| 플레이트 폼 재료 | 알류미늄 | |
| MTBF | 25000시간 | |
| 메모: 상기 테스트 데이터는 실험실 환경에서 얻었습니다., 테스트 포인트가 있습니다 25 중심점 위의 MM, 선형 증폭기에 의해 결정됩니다. | ||
애플리케이션
큰 광학 렌즈 검사, 반도체 필드의 웨이퍼 결함 검사, 정도
조작, 그리고 포장
제품 기능:
1.동적 성능이 높은 고성능 직접 드라이브 에어 베어링 플랫폼.
2.Air Surround Preload와 비접촉 설계를 사용합니다.
3.고성능 스캔 및 검사 응용 프로그램을 위해 특별히 설계되었습니다.
4.나노 레벨 포지셔닝 정확도를 제공합니다.
5.듀얼 스테이터 선형 모터에 의해 구동됩니다.
6.단일 축 플랫폼으로 사용하거나 다른 축과 통합되어 다축 시스템을 형성 할 수 있습니다..
7.무거운 하중 응용 프로그램에 매우 적합합니다.
8.더 큰 여행 범위에 맞게 사용자 정의 할 수 있습니다.
